1. Лазерный метод сухой чистки. Лазер освещает непосредственно поверхность объекта, и после загрязнения частицы или поверхность поглощают энергию, частицы отделяются от поверхности за счет термодиффузии, фотолиз, газификация, и тому подобное.
2. Лазерный метод влажной уборки. Распылите немного экологически чистой жидкости (в основном вода, иногда алкоголь) на поверхности очищаемого материала, а потом облучить лазером. После того как жидкая среда поглотит энергию лазера, он взорвется и испарится, и отталкивают окружающие загрязненные частицы от поверхности материала. . Кроме того, предложен так называемый метод лазерной дуплексной очистки.. Лазерная энергия поглощается материалом подложки., а затем конденсированная промежуточная среда нагревается за счет тепловой конвекции, а промежуточная среда взрывоопасно испаряется.. Под поощрением высокого воздушного потока, частицы отделяются от поверхности подложки вместе с промежуточной средой.
3 Лазер + метод инертного газа, то есть, при облучении лазером, инертный газ подается на поверхность подложки. Когда грязь счищается с поверхности, он будет немедленно сдут с поверхности газом, чтобы избежать повторного загрязнения и окисления поверхности.; После ослабления, очистить неагрессивными химическими методами.