1. 激光干洗法. 激光直接照射物体表面, 并在污染颗粒或表面吸收能量后, 颗粒通过热扩散与表面分离, 光解, 气化, 之类的.
2. 激光湿法清洗法. 喷一些无污染的液体 (主要是水, 有时酒精) 在被清洁材料的表面, 然后用激光照射它. 液体介质吸收激光能量后, 它会爆炸并蒸发, 并将周围的污染颗粒推离材料表面. . 此外, 提出了一种所谓的激光双面清洁方法. 激光能量被基材吸收, 然后通过热对流对冷凝后的中间介质进行加热, 中间介质爆炸汽化. 在高气流的推动下, 颗粒与中间介质一起从基材表面分离.
3 激光 + 惰性气体法, 那是, 在照射激光的同时, 将惰性气体吹至基材表面. 当污垢从表面剥落时, 气体会立即将其吹离表面，避免表面再次污染和氧化; 松开后, 使用非腐蚀性化学方法清洁.